Processing of Nano-Holes and Pores on SiO2 Thin Films by MeV Heavy Ions

Utilize este identificador para citar ou criar um atalho para este documento: https://hdl.handle.net/10923/21034

Tipo:	Article
Título:	Processing of Nano-Holes and Pores on SiO2 Thin Films by MeV Heavy Ions
Autor(es):	Claudia Milanez Silva Paula Varisco Paulo P. Fichtner Ricardo Meurer Papaléo Adriano Moehlecke J Eriksson
In:	Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B, Beam Interactions with Materials and Atoms (Print)
Data de Publicação:	2003
Volume:	206
Página Inicial:	486
Página Final:	489
Palavras-chave:	Ion Tracks Nano-pores Silicon Dioxide
URI:	https://hdl.handle.net/10923/21034
ISSN:	0168-583X
Aparece nas Coleções:	Artigo de Periódico

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