Processing of Nano-Holes and Pores on SiO2 Thin Films by MeV Heavy Ions

Por favor, use este identificador para citar o enlazar este ítem: https://hdl.handle.net/10923/21034

Tipo:	Article
Título:	Processing of Nano-Holes and Pores on SiO2 Thin Films by MeV Heavy Ions
Autor(es):	Claudia Milanez Silva Paula Varisco Paulo P. Fichtner Ricardo Meurer Papaléo Adriano Moehlecke J Eriksson
En:	Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B, Beam Interactions with Materials and Atoms (Print)
Fecha de Publicación:	2003
Volumen:	206
Primera página:	486
Última página:	489
Palabras clave:	Ion Tracks Nano-pores Silicon Dioxide
URI:	https://hdl.handle.net/10923/21034
ISSN:	0168-583X
Aparece en las colecciones:	Artigo de Periódico

Ficheros en este ítem:

Fichero	Descripción	Tamaño	Formato
Processing_of_NanoHoles_and_Pores_on_SiO2_Thin_Films_by_MeV_Heavy_Ions.pdf		132,89 kB	Adobe PDF	Abrir Ver