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Utilize este identificador para citar ou criar um atalho para este documento: https://hdl.handle.net/10923/20283
Tipo: Article
Título: Effect of hafnium contaminant present in zirconium targets on sputter deposited ZrN thin films
Autor(es): FERNANDEZ, D.A.R.
BRITO, B.S.S.
SANTOS, I.A.D.
SOARES, V.F.D.
TERTO, A.R.
DE OLIVEIRA, G.B.
Roberto Hübler
BATISTA, W.W.
Tentardini, E.K.
In: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
Data de Publicação: 2020
Volume: 462
Página Inicial: 90
Página Final: 94
URI: https://hdl.handle.net/10923/20283
DOI: DOI:10.1016/j.nimb.2019.11.005
ISSN: 0168-583X
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