Interrelation Among Morphology, Mechanical Properties and Oxidation Behavior of NbxAlyNz Thin Films

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Tipo:	Article
Título:	Interrelation Among Morphology, Mechanical Properties and Oxidation Behavior of NbxAlyNz Thin Films
Autor(es):	CARVALHO, RENATA GOMES FERNANDEZ, DANIEL ANGEL RAMIREZ SOARES, VAGNER FONTES DÓRIA CUNHA, FREDERICO GUILHERME CARVALHO MENDES, FABIANA MAGALHÃES TEIXEIRA Roberto Hübler MACHADO, GIOVANNA TENTARDINI, EDUARDO KIRINUS
In:	MATERIALS RESEARCH
Data de Publicação:	2019
Volume:	22
Página Inicial:	5
Palavras-chave:	Filmes finos Magnetron Sputtering caracterização de materiais
URI:	https://hdl.handle.net/10923/20285
DOI:	DOI:10.1590/1980-5373-mr-2019-0301
ISSN:	1980-5373
Aparece nas Coleções:	Artigo de Periódico

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