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Por favor, use este identificador para citar o enlazar este ítem: https://hdl.handle.net/10923/12699
Tipo: Article
Título: Changes in the Young Modulus of hafnium oxide thin films
Autor(es): VARGAS, ANDRÉ LUÍS MARIN
DE ARAÚJO RIBEIRO, FABIANA
Roberto Hübler
En: Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B, Beam Interactions with Materials and Atoms (Print)
Fecha de Publicación: 2015
Volumen: 359
Primera página: 277
Palabras clave: caracterização de superfícies
Magnetron Sputtering
RBS
Propriedades mecânicas
URI: http://hdl.handle.net/10923/12699
DOI: DOI:10.1016/j.nimb.2015.07.096
ISSN: 0168-583X
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