1. Repositório PUCRS
  2. PUBLICAÇÕES CIENTÍFICAS
  3. Artigo de Periódico
Utilize este identificador para citar ou criar um atalho para este documento: https://hdl.handle.net/10923/12699
Tipo: Article
Título: Changes in the Young Modulus of hafnium oxide thin films
Autor(es): VARGAS, ANDRÉ LUÍS MARIN
DE ARAÚJO RIBEIRO, FABIANA
Roberto Hübler
In: Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B, Beam Interactions with Materials and Atoms (Print)
Data de Publicação: 2015
Volume: 359
Página Inicial: 277
Palavras-chave: caracterização de superfícies
Magnetron Sputtering
RBS
Propriedades mecânicas
URI: http://hdl.handle.net/10923/12699
DOI: DOI:10.1016/j.nimb.2015.07.096
ISSN: 0168-583X
Aparece nas Coleções:Artigo de Periódico

Arquivos neste item:
Arquivo Descrição TamanhoFormato 
Changes_in_the_Young_Modulus_of_hafnium_oxide_thin_films.pdf1,91 MBAdobe PDFAbrir
Exibir
Ver em formato completo Ver estatísticas Busque outras versões desse texto via SFX


Todos os itens no Repositório da PUCRS estão protegidos por copyright, com todos os direitos reservados, e estão licenciados com uma Licença Creative Commons - Atribuição-NãoComercial 4.0 Internacional. Saiba mais.